1.总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技术，推导了计及边缘效应的梳状静电驱动器静电力公式。
2.交流变频电驱动钻机采用VFD驱动和数字控制技术，可简化绞车结构，提高钻机性能。
3., 总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技术，推导了计及边缘效应的梳状静电驱动器静电力公式。
4.总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技术，推导了计及边缘效应的梳状静电驱动器静电力公式。